高精密フォトマスクのニーズに的確にこたえる、フィルム、ガラスプレート、専用プロセサー。
製品ラインアップ
本格量産ラインから短納期・小ロットラインまで、あらゆる生産ラインへのビルトインを可能にした、世界初の量産対応型デジタル露光システム。
基板の洗浄水や半導体製造用の各種ガスをろ過するフィルター。
