裏面反射の影響を除去する新方式を採用
厚さ0.1mm以上の平行平面ガラスの測定が可能
スイッチの切換えにより通常のレーザー干渉計としても使用可能
製品名:G102S
測定対象:平面・透過波面
口径(mm):φ102/φ150
用途:高精度平面板(ガラス、金属、セラミックなど)の平面度測定、プリズム・平行平面板