G102S

G102S
裏面ノイズキャンセルも可能な高機能タイプ。

裏面反射の影響を除去する新方式を採用

厚さ0.1mm以上の平行平面ガラスの測定が可能

スイッチの切換えにより通常のレーザー干渉計としても使用可能

基本情報

製品名:G102S

測定対象:平面・透過波面

口径(mm):φ102/φ150

用途:高精度平面板(ガラス、金属、セラミックなど)の平面度測定、プリズム・平行平面板

主な仕様
光源
685nm(±15nm)
有効光束径
φ102mm
φ150mm
測定感度
λ/2(0.35μm/縞)
基準面精度
P-V値で32nm
測定可能サンプル厚み
0.1mm以上
拡大倍率
6倍ズーム
寸法
約360×365×1000mm(φ150mm)
質量
約70kg(本体のみ)
電源
AC100V 50/60Hz 2A
解析装置
A1標準装備
オプション
■減衰膜
■電動Zステージ
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