レーザー干渉計

光学業界のデファクトスタンダード。レンズ、金属、セラミックなどの表面形状をナノメータオーダーで計測します。
サンプルの材質によらず鏡面であればほとんど非接触観測が可能です。干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃えており、使い勝手を追求した高機能、高性能レーザー干渉計のシステムです。

高精度平面板（ガラス、金属、セラミックなど）の平面度測定、CD・DVDなどの対物レンズの透過波面測定、レンズの球面精度、ニュートン縞検査、シリンドリカルレンズ、ミラー、ガラスディスク、ウェハーなどの面精度測定に使用されています。測定される対象物に、より適した干渉計システムをご検討ください。

製品名 測定対象 口径（mm） 基準面精度 拡大倍率 平面 球面 φ102／φ150レーザー干渉計 G102 平面・透過波面 φ102 φ150 λ/20 − 6倍ズーム φ102／φ150レーザー干渉計 G102S 平面・透過波面 φ102 φ150 P-V値 32nm − 6倍ズーム コンパクトレーザー干渉計 F601（平面測定） 平面・透過波面 φ60 λ/20 − ×1 コンパクトレーザー干渉計 F601（球面測定） 球面・透過波面 φ60 − λ/20 ×1 ニュートン縞検査装置 F601FC 球面 φ60 − λ/20 ×1 ニュートン縞検査装置 F601FCII 球面 φ60 − λ/20 ×1 シリンドリカル面測定用干渉計 F601HOE 円筒面 − （λ/5） ×1 小口径レーザー干渉計 FI251N／FI251LN 平面・透過波面 φ25 λ/20 − ×1、2、5、10から2つ選択（手動切替） 小口径レーザー干渉計 405nm／650nm／790nm V10 R10／IR10 平面・透過波面 φ10 P-V値 32nm − ×1、2、5 小口径2波長レーザー干渉計 DW10 平面・透過波面 φ10 P-V値 32nm − ×1、2、5 小型・軽量レーザー干渉計 F301FC（平面システム） φ30 λ/20 − ×1 小型・軽量レーザー干渉計 F301FC（球面システム） φ10 λ/20 − ×1 φ310レーザー干渉計 G310 φ310 λ/20 − 6倍ズーム

干渉縞解析装置

レーザー干渉計による解析結果を数値やグラフィックで表示します。自動機にも対応します。

ファイバーコネクタ端面検査装置

光通信用に用いられるファイバーコネクタ専用の端面形状検査機として開発。3次元非接触位相シフト干渉計です。

FS-05

フリンジスキャンモアレ装置

セラミック・金属・プラスチックの粗面測定非接触で平面（粗面）を高精度に測定できます。（ただし、2mm以下のうねりまで）

FM1410