ページの先頭です
ページ内移動用のリンクです
サイト内共通メニューへ移動します
本文へ移動します


ここからサイト内共通メニューです
サイト内共通メニューをスキップしてサイトの現在地表示へ移動します

サイトの現在地を表示します
サイトの現在地表示をスキップして本文へ移動します

G310(受注生産品)

G310
12インチウエハーなどの平面度測定。

フォーカス合わせ・光量調整・アライメント切替・ズーミングは、専用のリモートコントローラーで行うことにより、操作を簡単にしました。

基本情報

製品名:G310

測定対象:平面

口径(mm):φ310

用途:12インチウエハーなどの平面度測定

主な仕様
光源
He-Neレーザー
有効光束径
φ310mm
測定感度
λ/2(0.3μm/縞)
基準面精度
λ/20
測定姿勢
サンプル水平セット(干渉計下向き)
拡大倍率
6倍ズーム
寸法
約1440×1200×2115mm(防振台含む)
質量
約950kg
電源
AC100V 50/60Hz 2A
解析装置
A1標準装備
資料請求・お問い合わせについて
製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム(株)で承っております。電話またはWeb(お問い合わせフォーム)で、お気軽にお問い合わせください。

電話でのお問い合わせ

富士フイルム(株) 光学デバイス事業部
TEL:
048-668-2962

Webからのお問い合わせ

この製品についてのお問い合わせ

ここからサポートメニューです
サポートメニューをスキップしてフッターへ移動します


ここからフッターです

ページの終わりです
ページの先頭へ戻る