レーザー干渉計

光学業界のデファクトスタンダード。レンズ、金属、セラミックなどの表面形状をナノメータオーダーで計測します。サンプルの材質によらず鏡面であればほとんど非接触観測が可能です。干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃えており、使い勝手を追求した高機能、高性能レーザー干渉計のシステムです。
高精度平面板（ガラス、金属、セラミックなど）の平面度測定、CD・DVDなどの対物レンズの透過波面測定、レンズの球面精度、ニュートン縞検査、ミラー、ガラスディスク、ウェハーなどの面精度測定に使用されています。測定される対象物に、より適した干渉計システムをご検討ください。