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レーザー干渉計

 

[写真]レンズや金属の表面形状をナノオーダーで計測する国内トップシェアのレーザー干渉計、関連機器。

ラインアップ

レーザー干渉計

光学業界のデファクトスタンダード。レンズ、金属、セラミックなどの表面形状をナノメータオーダーで計測します。
サンプルの材質によらず鏡面であればほとんど非接触観測が可能です。干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃えており、使い勝手を追求した高機能、高性能レーザー干渉計のシステムです。
高精度平面板(ガラス、金属、セラミックなど)の平面度測定、レンズの球面精度、ニュートン縞検査、ミラー、ガラスディスク、ウェハーなどの面精度測定に使用されています。測定される対象物に、より適した干渉計システムをご検討ください。



製品名 測定対象 口径(mm) 基準面精度 拡大倍率
平面 球面

φ102/φ150レーザー干渉計

G102

平面・透過波面

φ102

φ150

λ/20 6倍ズーム

φ102/φ150レーザー干渉計

G102S

平面・透過波面

φ102

φ150

P-V値

32nm

6倍ズーム

コンパクトレーザー干渉計

F601(平面測定)

平面・透過波面

φ60

λ/20

×1

コンパクトレーザー干渉計

F601(球面測定)

球面・透過波面 φ60   ×1

ニュートン縞検査装置

F601FC

球面 φ60 λ/20 ×1

ニュートン縞検査装置

F601FCII

球面 φ60 λ/20 ×1

小口径レーザー干渉計

FI251N/FI251LN

平面・透過波面 φ25 λ/20 ×1、2、5、10から2つ選択(手動切替

干渉縞解析装置

[写真]

レーザー干渉計による解析結果を数値やグラフィックで表示します。自動機にも対応します。


製品名 表示項目 解析画素数 その他の機能

Windows対応 干渉縞解析装置

A1

P-V値

RMS値

鳥瞰図

等高線図

断面図

ザイデル収差

256×256

512×512

データ保存

複数マスク設定可能

CodecV出力

データサブトラクション

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お問い合わせ

富士フイルム(株)として干渉計の販売は代理店からになります。ご購入についてのご相談は、販売代理店である株式会社ナガタもしくは株式会社マブチ・エスアンドティーが窓口となります。

電話でのお問い合わせ
株式会社ナガタ 0266-22-4592
株式会社マブチ・エスアンドティー 0266-41-0001
Webでのお問い合わせ
株式会社ナガタ
お問い合わせフォーム
株式会社マブチ・エスアンドティー
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