カートリッジタイプ

製品ラインアップ
製品名
膜材質
用途
備考
ポリスルホン
超純水用
孔径:0.1μm、0.2μm、0.45μm、1.2μm
長さ:S、D、T
超純水・メッキ液
孔径:0.05μm
大型LCDおよび300mmウエハー製造プロセス用
PSE膜による高流量・高捕捉性能
第6世代以降の液晶大型ガラス基板
PSE膜による高補捉性と超高流量
枚葉式洗浄装置
小型で高流量を実現したカプセルタイプ
電子・食品用
孔径:0.1μm、0.2μm、0.45μm、0.8μm
長さ:S、D、T
ポリプロピレン不織布
プレフィルターおよび清澄ろ過
ポリプロピレン不織布
第8〜第10世代の大型液晶基板用プレフィルター
孔径:2.5μm、4.5μm、10μm、20μm
PTFE(四フッ化エチレン)
薬液・気体用
孔径:0.1μm、0.2μm、0.45μm 長さ:S、D、T
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