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除去グレードはシングルパスで0.05μm
流量は、現行の0.1μm品に比べわずか15％の低下
従来品と同サイズ（直径70mm）で、ハウジングの更新は不要
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製品名：PSE05カートリッジ
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膜材質：ポリスルホン
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用途：超純水・メッキ液
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孔径：0.05μm
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特長 |
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優れた捕捉性能 |
PSE膜の独特な内部緻密層が0.05μmの粒子も確実に捕捉します。
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高流量 |
従来の0.1μmシングル（1段）品に比較して流量低下はわずか15％程度です。
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ロングライフ |
PSE膜の独自構造により、ロングライフを実現します。
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主な用途 |
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ご好評のPSE膜を使用していますので、以下のような微細粒子除去を必要とするラインに最適です。
■300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の純水ろ過
■300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の薬品ろ過
■メッキ液、現像液などのろ過
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