除去グレードはシングルパスで0.05μm

流量は、現行の0.1μm品に比べわずか15％の低下

従来品と同サイズ（直径70mm）で、ハウジングの更新は不要

PSE膜について

製品名：PSE05カートリッジ

膜材質：ポリスルホン

用途：超純水・メッキ液

孔径：0.05μm

特長

優れた捕捉性能

PSE膜の独特な内部緻密層が0.05μmの粒子も確実に捕捉します。

高流量

従来の0.1μmシングル（1段）品に比較して流量低下はわずか15％程度です。

ロングライフ

PSE膜の独自構造により、ロングライフを実現します。

主な用途

ご好評のPSE膜を使用していますので、以下のような微細粒子除去を必要とするラインに最適です。

■300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の純水ろ過
■300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の薬品ろ過
■メッキ液、現像液などのろ過

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