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PSE05カートリッジ

PSE05カートリッジ
トップ 主な仕様
デザインルールの微細化に対応。

除去グレードはシングルパスで0.05μm

流量は、現行の0.1μm品に比べわずか15%の低下

従来品と同サイズ(直径70mm)で、ハウジングの更新は不要

基本情報

製品名:PSE05カートリッジ

膜材質:ポリスルホン

用途:超純水・メッキ液

孔径:0.05μm

特長
優れた捕捉性能

PSE膜の独特な内部緻密層が0.05μmの粒子も確実に捕捉します。

高流量

従来の0.1μmシングル(1段)品に比較して流量低下はわずか15%程度です。

ロングライフ

PSE膜の独自構造により、ロングライフを実現します。

主な用途

ご好評のPSE膜を使用していますので、以下のような微細粒子除去を必要とするラインに最適です。

■300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の純水ろ過
■300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の薬品ろ過
■メッキ液、現像液などのろ過

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