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PSE05カートリッジ

 

[写真]高流量と高い捕捉性能で好評のPSEカートリッジに0.05μmグレードが登場。

基本情報

デザインルールの微細化に対応。

除去グレードはシングルパスで0.05μm
流量は、現行の0.1μm品に比べわずか15%の低下
従来品と同サイズ(直径70mm)で、ハウジングの更新は不要

製品名 PSE05カートリッジ

特長

優れた捕捉性能

PSE膜の独特な内部緻密層が0.05μmの粒子も確実に捕捉します。

高流量

従来の0.1μmシングル(1段)品に比較して流量低下はわずか15%程度です。

ロングライフ

PSE膜の独自構造により、ロングライフを実現します。

主な用途

ご好評のPSE膜を使用していますので、以下のような微細粒子除去を必要とするラインに最適です。

  • 300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の純水ろ過
  • 300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置の薬品ろ過
  • メッキ液、現像液などのろ過

お問い合わせ・資料請求

製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム(株)で承っております。Webより問い合わせフォームをご利用ください。

 
 
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PSE膜について

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