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PSEカートリッジ Lタイプ

 

[写真]高流量と高い捕捉性能で好評のPSEカートリッジに高流量タイプ(従来比1.5倍)が登場。 液晶パネルの大型化、ウエハーの大口径化に対応。

基本情報

  • 流量は従来比1.5倍。
  • 微粒子除去能力はシングルパスでレーティング、従来のPSEカートリッジと同等性能。
  • ロングライフ(ろ過ライフは1.5~2倍(*1))
  • 従来と同サイズ(φ70mm)で、ハウジングの更新は不要。
  • *1:ご使用条件により異なります。

特長

高流量

従来のシングル(1段)品の1.5倍の流量を実現します。

優れた捕捉性能

[画像]

PSE膜の独特な内部緻密層が確実に微粒子を捕捉します。


ロングライフ

ろ過面積の増大により、従来品にくらべ、1.5倍~2倍のろ過ライフが得られます。(*2)

  • *2:使用条件によりろ過ライフは異なります。

主な用途

ご好評のPSE膜を使用していますので、以下のような高流量、高捕捉性能を必要とするラインに最適です。

  • 大型LCDおよび300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置などの純水ろ過
  • 大型LCDおよび300mmウエハー製造プロセスにおける洗浄装置などの薬品ろ過

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製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム(株)で承っております。Webより問い合わせフォームをご利用ください。

 
 
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PSE膜について

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