PSEカートリッジLタイプ

PSEカートリッジLタイプ
トップ 主な仕様
液晶パネルの大型化、ウエハーの大口径化に対応。

流量は従来比1.5倍。

微粒子除去能力はシングルパスでレーティング、従来のPSEカートリッジと同等性能。

ロングライフ(ろ過ライフは1.5〜2倍。[※])

従来と同サイズ(φ70mm)で、ハウジングの更新は不要。

※ご使用条件により異なります。

基本情報

製品名:PSEカートリッジLタイプ

膜材質:ポリスルホン

用途:大型LCDおよび300mmウエハー製造プロセス用

備考:PSE膜による高流量・高捕捉性能

特長
高流量

従来のシングル(1段)品の1.5倍の流量を実現します。

優れた捕捉性能

PSE膜の独特な内部緻密層が確実に微粒子を捕捉 します。

ロングライフ

ろ過面積の増大により、従来品にくらべ、1.5倍〜2倍のろ過ライフが得られます。[※]

※ご使用条件によりろ過ライフは異なります。

主な用途

ご好評のPSE膜を使用していますので、以下のような高流量、高捕捉性能を必要とするラインに最適です。

■大型LCDおよび300mmウエハー製造プロセスにおける 洗浄装置等の純水ろ過
■大型LCDおよび300mmウエハー製造プロセスにおける 洗浄装置などの薬品ろ過

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