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PSEカートリッジ UXL/SXLタイプ

 

[写真]高流量と高い捕捉性能で好評のPSEカートリッジに超々高流量タイプが登場 第8~第10世代の大型液晶基板の洗浄に最適

基本情報

  • 液晶基板の大型化に対応
  • 従来の超高流量フィルターと比較し約2倍(*1)の流量を実現
  • 第8~第10世代の大型液晶基板に最適
  • *1:UXLタイプ

特長

ラインアップ

ろ過面積の異なる2タイプをラインアップ(UXLタイプ/SXLタイプ)

超々高流量

超高流量PSEカートリッジXLタイプと比較して、約2倍の超々高流量を達成。孔径0.2μmにて、300L/min(*2)の流量を確保します。(at ΔP=0.03MPa)

  • *2:UXLタイプ

高い微粒子捕捉性能

シャープな孔径分布を持つ、PSE膜の独特な内部緻密層が確実に微粒子を捕捉します。

AS568-334対応ハウジングに装填可能

フィルターのOリングサイズAS568-334タイプ対応のハウジングに装填可能です。当社ハウジングとの組み合わせによりさらに高流量に対応可能です。

堅牢なつくり

強度の高いポリスルホン膜と、新設計の本体で堅牢性を実現しました。

主な用途

好評をいただいている独特な非対称構造を持つメンブレン(PSE膜)を使用。
高い微粒子捕捉性能、高流量、長寿命を必要とする以下のような用途にすぐれた性能を発揮します。

  • 大型液晶基板ウェットプロセス装置における洗浄水のろ過

お問い合わせ・資料請求

製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム(株)で承っております。Webより問い合わせフォームをご利用ください。

 
 
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