第6・第7世代の液晶大型ガラス基板の洗浄に優れた性能を発揮する超高流量カートリッジフィルター。
高い微粒子捕捉性能と、高流量と、長寿命とをあわせもつ独自のメンブレンが優れた性能を発揮します。
製品名：PSEカートリッジXLタイプ
膜材質：ポリスルホン
用途：第6世代以降の液晶大型ガラス基板
備考：PSE膜による高補捉性と超高流量
従来比で約2倍の流量を実現。孔径0.2μmで100L/min以上の流量を確保します。（at ΔP＝0.02MPa）
シャープな孔径分布を持つPSE膜の独特な内部緻密層が確実に微粒子を捕捉します。
既存の多くの高流量対応ハウジングに装填が可能で、ハウジングを変更することなく超高流量が得られます。
※ハウジングへの装填性につきましては、ご相談ください。
好評をいただいている独特な非対称構造を持つメンブレン（PSE膜）を使用。高い微粒子捕捉性能、高流量、長寿命を必要とする以下のような用途に優れた性能を発揮します。
■液晶大型ガラス基板ウエットプロセス装置における洗浄水のろ過
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