500L/min以上の大量ガスの浄化が可能な大型ガスラインフィルター。 ガスのクリーン化用に開発されたPTFE膜メンブレンフィルターを採用しています。 精密なろ過性能と高い安全性、目的に合わせて選べる各種タイプを揃え、厳格な品質管理を要求される半導体工業のほか、大量のガスを必要とするLCD製造にも威力を発揮します。 製品名:ガスラインフィルター 高分子膜・大容量タイプ 膜材質:PTFE(四フッ化エチレン) 用途:半導体不活性ガスなどのクリーン化
有効膜面積0.2m〜1.5mで、500L/min[normal]以上の大量ガスの浄化が可能です。
有効膜面積は4種類、継手サイズは5種類の組み合わせで計6種類の品種を取り揃えていますので、さまざまな用途に応じて選択することができます。
■電子工業用ガス精製装置などでの大量ガスの浄化に
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