膜、ハウジングをはじめ、すべての部材にフッ素樹脂を採用。

ステンレスハウジングタイプに比べ、ガス中や配管中の水分によるハウジング内面の腐食が懸念されるケースに最適です。

軽量のため、配管へ負担を掛けません。

半導体デバイスの高集積化、高機能化、高品質化に貢献します。

製品名：ガスラインフィルター 高分子膜・オールフッ素樹脂タイプ

膜材質：PTFE（四フッ化エチレン）

用途：バブリングガス、圧送用ガスのクリーン化

備考：軽量で、耐食性に優れるオールフッ素樹脂タイプ

特長

すべての構成部材がフッ素樹脂から成り、耐食性に優れる

膜、支持体、ハウジングなどすべての構成部材に化学的に安定なフッ素樹脂を使用しているので、さびず、すぐれた耐食性を示します。

軽量タイプ

重さは60gと軽量でステンレスハウジングタイプの約1/3。取り扱いやすく、また配管への荷重負担もわずかです。

信頼性のある高い捕捉性と安定した性能が得られるPTFE（四フッ化エチレン）ラミネート膜 精密ろ過膜は、PTFE製ラミネート2層構造で捕捉性能にすぐれ、かつ高差圧、振動などによっても伸びがなく、安定した性能が得られます。

高流量、低圧損を実現

ラミネート2層構造でしかも高い空孔率を有する膜により、低い圧力損失で高流量が得られます。

確実な品質管理

ガスラインフィルターは、完全性試験、耐圧試験、気密性試験を全数実施しており、全品に個体番号を明示してあります。

用途

半導体工業における半導体製造用一般ガスの清浄化に

■洗浄機のフッ酸バスや混酸バスへのバブリングN₂やバブリングエアーに

■薬液の圧送用N₂に

■純水タンクのシール用N₂に

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