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ガス製造時はもとより、充填技術、輸送技術、貯蔵、ガス供給系まですべてをクリーン化することで成り立つ半導体プロセス用ガスの超高純度化。
構成部材がSUS316Lのみからなるオールメタルガスラインフィルターは、高温ベーキングが可能。
高温ベーキングによってH2Oなどの脱ガス分を除去すると、特に16M以上の高集積度ウエハーのムラの減少など得率の向上に有効です。
ガスの種類によってはH2Oと反応するとシリカなどの微粒子を生じるので、H2Oなどの混入を避けるため高温ベーキング処理が重要となってきます。耐熱性にすぐれたオールステンレス素材によるコンパクトな構造で、ユース・ポイントまでガスの純度を落とすことなく供給します。
製品名：オールメタルガスラインフィルター
膜材質：SUS316L
用途：半導体プロセスガスなどのクリーン化
備考：オールメタルタイプ高温ベーキング可能
構成部材はオールメタル。フィルターエレメント、ハウジングのすべてにSUS316Lを使用しました。耐熱性が高く、高温ベーキング処理が可能です。
フィルターメディアはSUS316L製繊維焼結材よりなり、0.01μmの超微粒子で99.999999％以上と高い捕捉性能を示します。
すべての使用部材は、完全な精密洗浄を実施。しかも製造工程はクリーンルームで行っています。付着微粒子が少なく、早い立ち上がりを実現します。また残存イオン量も少なく抑えられています。
内面は特殊電解研磨により不動態化被膜を形成した耐食性・清浄性にすぐれた鏡面仕上げ。不活性ガスの適切な通気制御による溶接方法の採用によりハウジングの内面焼けがありません。このためハウジング内部からの発塵の危険性を防止でき、脱ガス量も少なくなっています。
フィルターエレメントのハウジングへの取り付けは、溶接を避け機械的な方法によっているので、内面焼けのフィルターエレメントの熱変形による捕捉性能低下の心配がありません。
ガスラインフィルターは、完全性試験、耐圧試験、気密性試験を全数実施しており、全品に個体番号を明示してあります。
半導体工業における半導体製造用各種ガス（一般ガス、特殊ガス）および真空系の洗浄化に。ガス配管内に設置して、減圧弁、圧力計、バルブなどの作動によって発生する金属微粉などの微粒子を捕捉します。特に16M以上の高温ベーキング処理が得率アップに有効な工程に。
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