ガスラインフィルター

製品ラインアップ

半導体工業用のガスラインフィルター。

製品名
膜材質
用途
備考
SUS316L
半導体製造用各種ガスなどのクリーン化
オールメタルタイプ高温ベーキング可能
PTFE(四フッ化エチレン)
オールフッ素モジュールをSUS316Lハウジングに組み込み
低流量・中流量・高流量3タイプに各種継手タイプ有り
軽量で、耐食性に優れるオールフッ素樹脂タイプ
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