ガスラインフィルター
![[写真]半導体プロセスガスなどのクリーン化を実現するガスラインフィルター。](pack/images/index_mainvisual_01.jpg)
ラインアップ
半導体工業用のガスラインフィルター。
| 製品名 | 膜材質 | 用途 | 備考 |
|---|---|---|---|
| オールメタルガスラインフィルター | SUS316L | 半導体製造用各種ガスなどのクリーン化 | オールメタルタイプ高温ベーキング可能 |
| ガスラインフィルター 高分子膜タイプ | PTFE（四フッ化エチレン） | オールフッ素モジュールをSUS316Lハウジングに組み込み 低流量・中流量・高流量3タイプに各種継手タイプ有り |
|
| ガスラインフィルター 高分子膜・大容量タイプ | |||
| ガスラインフィルター 高分子膜・オールフッ素樹脂タイプ | 軽量で、耐食性に優れるオールフッ素樹脂タイプ |
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