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500L/min以上の大量ガスの浄化が可能な大型ガスラインフィルター。
ガスのクリーン化用に開発されたPTFE膜メンブレンフィルターを採用しています。
精密なろ過性能と高い安全性、目的に合わせて選べる各種タイプを揃え、厳格な品質管理を要求される半導体工業のほか、大量のガスを必要とするLCD製造にも威力を発揮します。
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製品名：ガスラインフィルター 高分子膜・大容量タイプ
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膜材質：PTFE（四フッ化エチレン）
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用途：半導体不活性ガスなどのクリーン化
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特長 |
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大量ガスの浄化 |
有効膜面積0.2m～1.5mで、500L/min［normal］以上の大量ガスの浄化が可能です。
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豊富なバリエーション |
有効膜面積は4種類、継手サイズは5種類の組み合わせで計6種類の品種を取り揃えていますので、さまざまな用途に応じて選択することができます。
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用途 |
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■電子工業用ガス精製装置などでの大量ガスの浄化に
■圧送エアの微粒子除去
■不活性ガスの微粒子除去
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