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CMPスラリー製品

幅広い洗浄液座利用の品揃え
クリーナー製品
クリーナーの適用例

半導体基板の洗浄と不純物除去はプロセスが変わるごとについて回る永遠のテーマです。レジスト除去からプロセス残渣の除去まで、Mircostrip™シリーズにて幅広い分野の洗浄薬液を提供いたします。

Microstrip™シリーズ
レジスト剥離液 Photoresist Stripper
MS600, MS2001, MS3001, MS6800
Al配線工程用残渣除去液 Al PER/PAR cleaner
MS4091, MS4092B
Cu配線工程用残渣除去液 Cu PER cleaner
MS7000, MS8000
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製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム エレクトロニクスマテリアルズ(株)で承っております。Webより問い合わせフォームをご利用ください。

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