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半導体プロセス材料

 

[写真]半導体製造過程の微細加工に使用する感光材料を始めとした各種プロセス材料。

ラインアップ

フォトレジスト製品

回路線幅100nm以下の極微小世界を実現する、半導体集積回路製造用のフォトレジストです。

イメージセンサー用材料

身近になったデジタルカメラ、携帯電話などイメージセンサーを搭載した機器。このセンサーに必須なマイクロカラーフィルターを製造するのに、着色感光材料「COLOR MOSAIC®」が使われています。

薄膜形成材料製品

低誘電率の絶縁材料(Low-k材)とその関連製品を取り揃えております。

CMPスラリー製品

半導体製造プロセスにおける銅配線層の平坦化に用いられる研磨剤(CMPスラリー)を用意しております。

フォトマスク用レジスト製品

フォトマスク基板特有の要求性能に合わせた専用のフォトレジスト。化学増幅型ポジレジスト市場のトップサプライヤーであり、デファクトスタンダードとなっています。

ポリイミド製品

電子材料として幅広く使用できるポリイミド製品。すぐれた加工特性をもち、MEMSなどへも使用されています。

クリーナー製品

表面洗浄からレジスト除去、エッチング残渣の除去まで幅広い分野の洗浄液材料を取り揃えています。

関連製品・サービス

液晶ディスプレイ用のフォトレジストについてご紹介します。

お問い合わせ・資料請求

製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム エレクトロニクスマテリアルズ(株)で承っております。電話またはWebより問い合わせフォームをご利用ください。

 
 
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クリーナー製品

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関連情報

半導体プロセス材料

半導体プロセス材料について。



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