半導体プロセス材料

回路線幅100nm以下の極微小世界を実現する、半導体集積回路製造用のフォトレジストです。

身近になったデジタルカメラ、携帯電話などイメージセンサーを搭載した機器。このセンサーに必須なマイクロカラーフィルターを製造するのに、着色感光材料「COLOR MOSAIC®」が使われています。

半導体製造プロセスにおける銅配線層の平坦化に用いられる研磨剤(CMPスラリー)を用意しております。

フォトマスク基板特有の要求性能に合わせた専用のフォトレジスト。化学増幅型ポジレジスト市場のトップサプライヤーであり、デファクトスタンダードとなっています。