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コンパクトレーザー干渉計(計測機) F601(平面測定)

 

[写真]コンパクトレーザー干渉計(計測機) F601(平面測定)

基本情報

世界一のシェアを誇るコンパクトタイプ

コンパクトで独自のアライメント機構により反射光を素早く見つけられ、計測時間を短縮できます。

  • φ60mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
  • ビームコンプレッサ(2倍拡大レンズ)とセットで使用することにより、面積が小さい被検体(φ5mm~φ25mm程度)でも測定可能。
  • 反射率の低い(約0.1%)被検体を測定したい場合、超低反射測定用に改造可能。

製品名 F601(平面測定)
測定対象 平面・透過波面
口径(mm) φ60

主な仕様

光源 He-Neレーザー(クラス1レーザー製品)
波長 632.8nm
形式 フィゾー型干渉方式
有効光束径 φ60mm
測定感度 λ/2(0.3μm/縞)
基準面精度 λ/20
拡大倍率 ×1
寸法 約300×320×590mm
質量 約30kg
電源 AC100V 50/60Hz 1A

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製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム(株)で承っております。電話またはWeb(お問い合わせフォーム)で、お気軽にお問い合わせください。

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