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レーザー干渉計(計測機) G102

 

[写真]レーザー干渉計(計測機) G102

基本情報

8.6倍ズーム付きで小物部品にも対応。

コンパクト、幅を取らない、簡単リモコン操作(フォーカス、光量調整、アライメント切替え、ズーム)

  • φ102mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
  • ズームレンズ内蔵により小口径被検体も測定可能。
  • コリメーターレンズ※を交換することにより最大φ150mmまでの被検体を測定可能。
  • リモートコントロールが付いており、アライメント切替、光量調整、ズーム調整、フォーカス調整が簡単に調整可能。

製品名 G102
測定対象 平面・透過波面
口径(mm) φ102/φ150

主な仕様

光源 He-Neレーザー(クラス1レーザー製品)
波長 632.8nm
形式 フィゾー型干渉方式
有効光束径 φ102mm
φ150mm
測定感度 λ/2(0.3μm/縞)
基準面精度 λ/20
拡大倍率 8.6倍ズームレンズ
寸法 約305×365×765mm
質量 約56kg
電源 AC100V 50/60Hz 2A

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製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム(株)で承っております。電話またはWeb(お問い合わせフォーム)で、お気軽にお問い合わせください。

電話でのお問い合わせ
富士フイルム(株)
光学・電子映像事業部
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