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レーザー干渉計(計測機) G102S

 

[写真]レーザー干渉計(計測機) G102S

基本情報

裏面ノイズキャンセルも可能

裏面反射の影響を除去する新方式を採用
厚さ0.1mm以上の平行平面ガラスの測定が可能
スイッチの切換えにより通常のレーザー干渉計としても使用可能

  • φ102mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
  • ズームレンズ内蔵により小口径被検体も測定可能。
  • コリメーターレンズ※を交換することにより最大φ150mmまでの被検体を測定可能。
  • リモートコントロールが付いており、アライメント切替、光量調整、ズーム調整、フォーカス調整が簡単に調整可能。
  • G102SはG102をベースに光源部に裏面反射の影響を除去する方式を採用。そのため、薄板ガラスや平行平面板など裏面の干渉縞が発生する被検体をG102Sを使用することで、表面形状を正確に測定することが可能。

製品名 G102S
測定対象 平面・透過波面
口径(mm) φ102/φ150

主な仕様

光源 半導体レーザー(クラス1レーザー製品)
波長 685nm±15nm
形式 フィゾー型干渉方式
有効光束径 φ102mm
φ150mm
測定感度 λ/2(約0.3μm/縞)
基準面精度 P-V値で32nm
拡大倍率 6倍ズーム
寸法 約360×365×1000mm
質量 約70kg(本体のみ)
電源 AC100V 50/60Hz 2A

お問い合わせ・資料請求

製品の資料請求・お問い合わせは、富士フイルム(株)で承っております。電話またはWeb(お問い合わせフォーム)で、お気軽にお問い合わせください。

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富士フイルム(株)
光学・電子映像事業部
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