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レーザー干渉計の基礎知識

 

[図]

シャボン玉や、水たまりに浮かんだ油に色が付いて見えることは、身近に観察できる干渉現象の代表例です。この干渉現象を利用して長さを測定したり、光のスペクトル解析を行う装置が干渉計です。干渉計は光源から出た光を2つの光に分割し、一つの光は30nm以下の凹凸で高精度な平面測定用基準板、もしくは球面測定用基準レンズのコートされている基準面に到達し反射します。もう一つの光は基準面を透過後、測定サンプルに到達して反射します。基準面からの反射光と測定サンプルからの反射光は元の光路を逆戻りし、その光路差によって干渉縞が発生します。干渉縞を見ることにより測定サンプルの表面形状や透過波面形状を測定できます。

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